氧等離子清洗機的工作原理基于等離子體技術。在真空腔體中，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體。這些等離子體通過轟擊被清洗產品表面，達到清洗目的。具體來說，工藝氣體氧氣與碳聚合物在等離子體的作用下發生反應，生成水蒸氣、二氧化碳等反應物，隨后通過真空泵抽出，完成清洗過程，其廣泛應用：
 

　　半導體行業：用于去除硅片上的光刻膠，金屬化前器件襯底的清洗，以及混合電路粘片前、鍵合前、金屬化陶瓷管封帽前的等離子體清洗。
 

　　生物醫療行業：用于醫療器械的表面處理，提高醫療器械的清潔度和生物相容性。
 

　　新能源行業：在電池和太陽能電池板的制造過程中，用于清洗和活化表面，提高電池性能和太陽能轉換效率。
 

　　氧等離子清洗機的操作：
 

　　1.在使用前，需要檢查設備的各個部件是否完好，確保電源、氣源和真空系統正常工作。
 

　　2.根據清洗材料的類型和污染物的性質，選擇合適的工作氣體(如氧氣)和清洗參數(如功率、處理時間、真空度等)。
 

　　3.將待清洗的物體放入真空腔體中，確保物體表面均勻暴露在等離子體中。
 

　　4.關閉腔體門，啟動真空泵，將腔體內的空氣抽出，達到所需的真空度。然后通入適量的工作氣體，啟動高頻電源或微波源，將氣體電離形成等離子體。
 

　　5.根據預設的清洗參數進行清洗處理。清洗完成后，關閉高頻電源或微波源，停止通入工作氣體，打開腔體門取出清洗后的物體，關閉真空泵，清理腔體內的殘留氣體和污染物。
 

　　在選購氧等離子清洗機時，需要考慮以下因素：
 

　　1.明確應用領域和需求，如去除有機污染物、改善表面親水性或提高粘接性能等。不同的應用場景可能需要不同類型的等離子體(如氧氣等離子)來達到使用效果。
 

　　2.根據待處理樣品的數量和尺寸選擇相應規格的清洗機。小型機通常適用于實驗室研究或小批量生產。
 

　　3.選擇界面友好、易于上手的機型。具備自動化程度高、參數設置靈活等特點的設備更受歡迎。