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  • CIF離子濺射儀是一款小型臺式磁控濺射設備,專為電鏡樣品制備與實驗室精密鍍膜設計,主打低溫、均勻、智能可控。該設備采用磁控濺射技術:腔體抽至高真空;通入氬氣,電場電離產生氬離子;離子在磁場約束下高速轟擊金/鉑/鉻等靶材;靶材原子被濺射到樣品...
  • 低溫等離子有機質去除儀,又稱等離子灰化儀,是一種利用低溫等離子體技術去除材料中有機質的精密處理設備。與傳統的溶劑清洗、高溫灼燒等方法不同,它能夠在不破壞材料基體結構的前提下,在較低溫度下高效氧化分解有機污染物,被譽為有機質去除領域的“綠色革...
  • RIE反應離子刻蝕機是微納加工核心干法刻蝕設備,通過等離子體物理轟擊、化學反應協同實現材料的各向異性、高精度、高選擇比刻蝕,廣泛用于半導體、MEMS、光電子、化合物半導體等領域。工作原理:等離子體生成:在真空腔室內,通過高頻電場激發刻蝕氣體...
  • 在半導體、精密電子、制造等領域,電感耦合等離子清洗機(ICP清洗機)已成為不可少的核心工藝設備。它以電感耦合射頻技術為核心,通過電離惰性或反應性氣體形成高密度等離子體,實現材料表面的超精密清潔、活化與改性,解決傳統清洗技術無法突破的納米級清...
  • 在芯片制造的潔凈車間里,一片晶圓經過多道工序后,表面覆蓋的光敏材料需要被精確剝離。承擔這項任務的設備,通過電離氣體產生化學活性物質,以氣相反應的方式完成清潔工作。等離子去膠機的核心原理建立在等離子體化學基礎之上。設備腔體內,氧氣或含氟氣體在...
  • 氧等離子清洗機是依托等離子體表面處理技術,以氧氣為工作氣體實現材料表面精細化清洗、活化與改性的專用設備,核心在真空環境中將氧氣電離為活性氧等離子體,通過等離子體與材料表面的物理、化學作用,去除有機污染物并優化表面特性,全程無化學試劑、無二次...
  • 閃蒸成膜儀是用于薄膜制備的設備,在材料科學等領域應用廣泛。閃蒸成膜儀通過創造真空環境,降低液體溶劑的沸點,加速溶劑揮發,使溶質在基片表面快速沉積并形成均勻薄膜。其核心原理包括:真空干燥:在真空條件下,液體沸點顯著降低,溶劑揮發速度加快,有利...
  • 勻膠旋涂儀是一種利用離心力將膠液均勻涂覆在基片上的設備,常見于各類對于材料表面涂覆的均勻性有嚴格要求的實驗或者制造領域,如半導體材料研發和制備工藝、生物材料物性分析、化工材料薄膜的制備工藝等。它可以用來制備厚度小于10納米的薄膜,也常用于約...
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